Mit Wasser beladene Feststoffe von aus Dampfphasen-bearbeiteten anorganischen Oxydteilchen und Polieraufschlämmung und Verfahren zur Herstellung von Halbleitervorrichtungen

EP1020506 Art A3 10. Oktober 2001

Anmelder: Kabushiki Kaisha Toshiba, JSR Corporation, KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1020506
Aktenzeichen
EP00100845
Anmeldetag
17. Januar 2000
Veröffentlichung
10. Oktober 2001
Rechtsraum
EP
IPC
C09K3/14C09G1/02C01B33/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Kabushiki Kaisha Toshiba
JSR Corporation
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toshiba

Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.

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