Verbessertes Verfahren für ein zu einem tiefen Speichergraben selbstjustiertes, vergrabenes Band

EP1022782 Art A3 23. August 2000

Anmelder: International Business Machines Corporation, Infineon Technologies AG 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1022782
Aktenzeichen
EP00100875
Anmeldetag
18. Januar 2000
Veröffentlichung
23. August 2000
Rechtsraum
EP
IPC
H01L27/108H01L21/8242
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
International Business Machines Corporation
Infineon Technologies AG
Land
🇺🇸 USA
🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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