Abscheidung von dielektrischen Schichten unter Verwendung von überkritischem CO2

EP1024524 Art A2 2. August 2000

Anmelder: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1024524
Aktenzeichen: EP00101398
Anmeldetag: 25. Januar 2000
Veröffentlichung: 2. August 2000
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/316

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Panasonic

Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.

36.518 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von