Chemisch-mechanisches Polieren mit einem bewegenden Poliertuch

EP1025955 Art B1 13. April 2005

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1025955
Aktenzeichen
EP00300878
Anmeldetag
4. Februar 2000
Veröffentlichung
13. April 2005
Erteilung
13. April 2005
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24B21/04B24D7/12H01L21/304H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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