Etalon Spektrometer mit doppeltem Strahldurchgang

EP1026487 Art B1 28. Mai 2008

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1026487
Aktenzeichen: EP00101694
Anmeldetag: 3. Februar 2000
Veröffentlichung: 28. Mai 2008
Erteilung: 28. Mai 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G01J3/12G01J3/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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