Kontakt-Temperatursensor mit thermischer Entkopplung zwischen Sensorkopf und Hitzeschild der elektrischen Zuleitungen
Anmelder: Axcelis Technologies, Inc., EATON CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1026489
- Aktenzeichen
- EP00300701
- Anmeldetag
- 31. Januar 2000
- Veröffentlichung
- 25. April 2007
- Erteilung
- 25. April 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01K1/14G01K1/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Axcelis Technologies, Inc.
EATON CORPORATION - Land
- 🇺🇸 USA
Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
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Irische Konzerngesellschaft von Eaton mit Fokus auf Energiemanagement. Das Unternehmen entwickelt elektrische Komponenten, Stromversorgungs- und Schaltsysteme für Industrie, Gebäude und Energieinfrastruktur.
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