Schmalbandiger UV Laser mit Justierlaser im sichtbaren Bereich

EP1026538 Art B1 16. November 2005

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1026538
Aktenzeichen: EP00101974
Anmeldetag: 1. Februar 2000
Veröffentlichung: 16. November 2005
Erteilung: 16. November 2005
Rechtsraum: EP
IPC: G02B27/62G03F7/20H01S5/022G01B11/26G01B11/27

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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