Trennapparatur, Trennverfahren, und Herstellungsverfahren für ein Halbleitersubstrat

EP1026727 Art A3 19. Januar 2005

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1026727
Aktenzeichen
EP00300718
Anmeldetag
31. Januar 2000
Veröffentlichung
19. Januar 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CANON KABUSHIKI KAISHA
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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