Beschleunigte Plasmareinigung

EP1028175 Art B1 1. Oktober 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1028175
Aktenzeichen
EP00300877
Anmeldetag
4. Februar 2000
Veröffentlichung
1. Oktober 2003
Erteilung
1. Oktober 2003
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/44H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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