Beugungsgitter mit bidirektionaler Brandbreitesteuerung

EP1028327 Art B1 25. Januar 2006

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1028327
Aktenzeichen: EP00102801
Anmeldetag: 10. Februar 2000
Veröffentlichung: 25. Januar 2006
Erteilung: 25. Januar 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/18H01S3/1055

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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