Verwendung von elektroplattiertem Kupfer als kalte Schicht für Kalt/Heiss-Absetzung

EP1029948 Art A2 23. August 2000

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1029948
Aktenzeichen
EP00301007
Anmeldetag
9. Februar 2000
Veröffentlichung
23. August 2000
Rechtsraum
EP
IPC
C25D5/02C23C28/02H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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