Verstellbare Baugruppe
EP1031996
Art A3
28. März 2001
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1031996
- Aktenzeichen
- EP00103667
- Anmeldetag
- 22. Februar 2000
- Veröffentlichung
- 28. März 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G12B5/00G02B7/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
361
Patente gesamt
33
Fachgebiete
13
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Schwerpunkte