Künstlich hergestelltes Quarzglaselement zur Anwendung in ArF-excimer-Laserlithographie
EP1033350
Art B1
13. Juni 2007
Anmelder: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG, SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1033350
- Aktenzeichen
- EP00104780
- Anmeldetag
- 6. März 2000
- Veröffentlichung
- 13. Juni 2007
- Erteilung
- 13. Juni 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C03C3/06C03C4/00C03C23/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Heraeus Quarzglas
Deutscher Hersteller von Quarzglas, das für optische Komponenten, Halbleiterfertigung, Beleuchtung und industrielle Anwendungen wie Lichtwellenleiter und Hochtemperaturprozesse eingesetzt wird.
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Fachgebiete
Kanzlei
Patentanwalt Armin Staudt
Hanau, Deutschland
Sammelte erste Berufsjahre in der Industrie, ab 1990 patentanwaltliche Ausbildung bei einem Hanauer Technologieunternehmen, seit 2004 ausschließlich eigene Kanzlei in Hanau. Berät zu Patenten, Gebrauchsmustern, Marken und Designs mit anwendungsnahem, industriegeprägtem Ansatz.
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Staudt, Armin, Dipl.-Ing
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Staudt, Armin
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