Verbessertes trocken-photolithographisches Verfahren zur Bestrahlung im tiefen UV-Bereich

EP1033744 Art A3 15. Juli 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1033744
Aktenzeichen
EP00301505
Anmeldetag
25. Februar 2000
Veröffentlichung
15. Juli 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/027H01L21/311H01L21/312H01L21/3213G03F7/004G03F7/075
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik
Vertreten von
Setna, Rohan P London, Großbritannien
754
Patente gesamt
34
Fachgebiete
23
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Medizintechnik & Gesundheit Verfahrens- & Trenntechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
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