Plasmaentalung-Abrichtvorrichtung und Feinbearbeitungsverfahren unter Verwendung dieser Vorrichtung

EP1033908 Art A3 19. November 2003

Anmelder: RIKEN, Riken 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1033908
Aktenzeichen: EP00104372
Anmeldetag: 2. März 2000
Veröffentlichung: 19. November 2003
Rechtsraum: EP
IPC: H05H1/48B24B53/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Firmen: RIKEN
Riken
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 RIKEN

Japanische staatliche Forschungseinrichtung mit Sitz in Wako bei Tokio, aktiv in Physik, Chemie, Biologie und Ingenieurwissenschaften mit zahlreichen Forschungszentren.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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