Poliereinrichtung einschliesslich Einstellungskontrolle für einen Drehtisch und/oder Plättchenträger
EP1034885
Art B1
15. Juni 2005
Anmelder: EBARA CORPORATION, Kabushiki Kaisha Toshiba, KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1034885
- Aktenzeichen
- EP00104555
- Anmeldetag
- 13. März 2000
- Veröffentlichung
- 15. Juni 2005
- Erteilung
- 15. Juni 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04B24B31/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- EBARA CORPORATION
Kabushiki Kaisha Toshiba
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Toshiba
Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Wagner, Karl H
München, Deutschland
2.990
Patente gesamt
33
Fachgebiete
17
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Wagner, Karl H., Dipl.-Ing
NoneMünchen