Halbleiterscheibe Halterung und Poliervorrichtung, und Verfahren zum Herstellen von Halbleiterscheiben
EP1034888
Art A3
20. Juni 2001
Anmelder: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION, Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1034888
- Aktenzeichen
- EP00104525
- Anmeldetag
- 10. März 2000
- Veröffentlichung
- 20. Juni 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04B24B41/06H01L21/306B24B49/02B24B57/02B24B49/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION
Mitsubishi Materials Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Mitsubishi Materials
Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.
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Vertreten von
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München