Halbleiterscheibe Halterung und Poliervorrichtung, und Verfahren zum Herstellen von Halbleiterscheiben

EP1034888 Art A3 20. Juni 2001

Anmelder: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION, Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1034888
Aktenzeichen
EP00104525
Anmeldetag
10. März 2000
Veröffentlichung
20. Juni 2001
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24B41/06H01L21/306B24B49/02B24B57/02B24B49/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION
Mitsubishi Materials Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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