Vorrichtung zum Verschieben eines optischen Elementes entlang der optischen Achse
EP1035426
Art A3
30. Juni 2004
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1035426
- Aktenzeichen
- EP00103780
- Anmeldetag
- 23. Februar 2000
- Veröffentlichung
- 30. Juni 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B7/02G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
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