Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Polieraufschlämmung, und Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Halbleitereinrichtungen

EP1036632 Art A3 19. September 2001

Anmelder: Kabushiki Kaisha Toshiba, JSR Corporation, KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1036632
Aktenzeichen
EP00105725
Anmeldetag
17. März 2000
Veröffentlichung
19. September 2001
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24B57/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Kabushiki Kaisha Toshiba
JSR Corporation
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toshiba

Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.

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