Wässerige Dispersionsaufschlämmung für chemisch-mechanisches Polierverfahren
EP1036836
Art B1
3. November 2004
Anmelder: Kabushiki Kaisha Toshiba, JSR Corporation, KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1036836
- Aktenzeichen
- EP00105650
- Anmeldetag
- 17. März 2000
- Veröffentlichung
- 3. November 2004
- Erteilung
- 3. November 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09K3/14H01L21/321C09G1/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Kabushiki Kaisha Toshiba
JSR Corporation
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Toshiba
Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.
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Vertreten von
Leson, Thomas Johannes Alois, Dipl.-Ing
München, Deutschland
4.459
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