Wässerige Dispersionsaufschlämmung für chemisch-mechanisches Polierverfahren

EP1036836 Art B1 3. November 2004

Anmelder: Kabushiki Kaisha Toshiba, JSR Corporation, KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1036836
Aktenzeichen
EP00105650
Anmeldetag
17. März 2000
Veröffentlichung
3. November 2004
Erteilung
3. November 2004
Rechtsraum
EP
IPC
C09K3/14H01L21/321C09G1/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Kabushiki Kaisha Toshiba
JSR Corporation
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toshiba

Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.

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