Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Distanzstück-Maske auf einer Substratträger-Spannvorrichtung
EP1036858
Art A1
20. September 2000
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1036858
- Aktenzeichen
- EP00104505
- Anmeldetag
- 10. März 2000
- Veröffentlichung
- 20. September 2000
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/04H01L21/00H01L21/68C23C14/50
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
6.825 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Käck, Jürgen
Landsberg am Lech, Deutschland
814
Patente gesamt
32
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Kahler, Kurt, Dipl.-Ing
NoneLandsberg am Lech