Photomaske mit nicht auflösenden Hilfsmustern deren Dimensionen oberhalb der für ein Inspektionswerkzeug wahrnehmbaren Grenze liegen

EP1037109 Art A2 20. September 2000

Anmelder: NEC Electronics Corporation, NEC CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1037109
Aktenzeichen: EP00105497
Anmeldetag: 15. März 2000
Veröffentlichung: 20. September 2000
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/14G03F1/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NEC Electronics Corporation
NEC CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NEC

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Tokio, der IT- und Netzwerklösungen, Telekommunikationsausrüstung sowie Sicherheits- und Biometrietechnik anbietet.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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