Verfahren zum Ätzen und Reinigen und Vorrichtung dafür
EP1037261
Art B1
17. Mai 2006
Anmelder: NEC Electronics Corporation, NEC CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1037261
- Aktenzeichen
- EP00104585
- Anmeldetag
- 14. März 2000
- Veröffentlichung
- 17. Mai 2006
- Erteilung
- 17. Mai 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00H01L21/3213
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NEC Electronics Corporation
NEC CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
NEC
Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Tokio, der IT- und Netzwerklösungen, Telekommunikationsausrüstung sowie Sicherheits- und Biometrietechnik anbietet.
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Fachgebiete
Kanzlei
Splanemann Patentanwälte
München, Deutschland
1873 in Berlin gegründet und damit eine der ältesten Patentanwaltskanzleien Deutschlands, heute in München ansässig. Berät Großkonzerne, mittelständische Unternehmen und Körperschaften öffentlichen Rechts in Elektrotechnik, Informatik, Elektronik und Chemie.
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