Trägervorrichtung zum Zuführen von Polieraufschlämmung
EP1038636
Art A3
14. Mai 2003
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1038636
- Aktenzeichen
- EP00302427
- Anmeldetag
- 24. März 2000
- Veröffentlichung
- 14. Mai 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04B24B41/06B24B57/02H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Bayliss, Geoffrey Cyril
London, Großbritannien
655
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