Verdampfungsvorrichtung für CVD-Vorrichtung
EP1038988
Art B1
13. Mai 2009
Anmelder: MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1038988
- Aktenzeichen
- EP00106247
- Anmeldetag
- 22. März 2000
- Veröffentlichung
- 13. Mai 2009
- Erteilung
- 13. Mai 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44C23C16/448B05B1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Mitsubishi Electric
Japanisches Unternehmen, das Elektro- und Elektroniktechnik entwickelt und herstellt, darunter Automatisierung, Energie-, Klima- und Fahrzeugtechnik.
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Kanzlei
Meissner Bolte Patentanwälte
Bremen, Deutschland
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Sajda, Wolf E., Dipl.-Phys
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