Reflexionsvermindernde Schicht zur Kontrolle von kritischen Dimensionen

EP1039347 Art B1 17. Dezember 2003

Anmelder: Infineon Technologies AG, Infineon Technologies North America Corp. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1039347
Aktenzeichen: EP00104736
Anmeldetag: 4. März 2000
Veröffentlichung: 17. Dezember 2003
Erteilung: 17. Dezember 2003
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Infineon Technologies AG
Infineon Technologies North America Corp.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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