Verfahren zum Aufwachsen eines Hableiterfilms mittels gepulster Dampfphasenabscheidung

EP1039512 Art A3 5. November 2003

Anmelder: Panasonic Corporation, MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1039512
Aktenzeichen: EP00105710
Anmeldetag: 17. März 2000
Veröffentlichung: 5. November 2003
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/20C30B25/14C30B29/36C30B29/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Panasonic Corporation
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Panasonic

Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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