System und Methode zur Echtzeiterfassung der in-situ Emission eines Werkstückes bei der Bearbeitung
EP1041619
Art B1
17. September 2008
Anmelder: Axcelis Technologies, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1041619
- Aktenzeichen
- EP00302508
- Anmeldetag
- 28. März 2000
- Veröffentlichung
- 17. September 2008
- Erteilung
- 17. September 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66G01J5/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Axcelis Technologies, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Axcelis Technologies
Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
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Vertreten von
Burke, Steven David
London, Großbritannien
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