Verfahren zur genauen Ausrichtung eines Musters in der Herstellung einer Halbleitervorrichtung, und Belichtungsmaske

EP1041630 Art A2 4. Oktober 2000

Anmelder: NEC Compound Semiconductor Devices, Ltd., NEC CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1041630
Aktenzeichen: EP00106740
Anmeldetag: 29. März 2000
Veröffentlichung: 4. Oktober 2000
Rechtsraum: EP
IPC: H01L23/544

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NEC Compound Semiconductor Devices, Ltd.
NEC CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NEC

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Tokio, der IT- und Netzwerklösungen, Telekommunikationsausrüstung sowie Sicherheits- und Biometrietechnik anbietet.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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