Verfahren zum Herstellen einer Dünnschicht

EP1043418 Art A3 12. März 2003

Anmelder: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., Matsushita Electronics Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1043418
Aktenzeichen: EP00107104
Anmeldetag: 6. April 2000
Veröffentlichung: 12. März 2003
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/50H01K3/00H01J63/04H01J9/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
Matsushita Electronics Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Panasonic

Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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