Rundheitsmesssystem zur Maschinensteuerung

EP1043564 Art B1 1. Februar 2006

Anmelder: TOKYO SEIMITSU CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1043564
Aktenzeichen
EP00107315
Anmeldetag
4. April 2000
Veröffentlichung
1. Februar 2006
Erteilung
1. Februar 2006
Rechtsraum
EP
IPC
G01B21/10B23Q17/20B24B49/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

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