Zusammensetzung für eine Resistunterschicht und Verfahren zu ihrer Herstellung

EP1045290 Art B1 15. März 2006

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1045290
Aktenzeichen
EP00107770
Anmeldetag
11. April 2000
Veröffentlichung
15. März 2006
Erteilung
15. März 2006
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/09G03F7/075
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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