Verfahren und Vorrichtung zum Entfernen von Kohlenstoff-Kontamination in unteratmosphärischer Ladungsträgerteilchenstrahl-Lithographievorrichtung
EP1045422
Art A2
18. Oktober 2000
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1045422
- Aktenzeichen
- EP00302043
- Anmeldetag
- 14. März 2000
- Veröffentlichung
- 18. Oktober 2000
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/02H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
6.825 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Setna, Rohan P
London, Großbritannien
754
Patente gesamt
34
Fachgebiete
23
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Allard, Susan Joyce
NoneLondon