Polierkissen zum chemisch-mechanischen Polieren von Substraten in Gegenwart von Schleifpartikeln enthaltende Aufschlämmung

EP1046466 Art B1 3. März 2010

Anmelder: innoPad, Inc., Freudenberg Nonwovens Limited Partnership 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1046466
Aktenzeichen
EP00850065
Anmeldetag
12. April 2000
Veröffentlichung
3. März 2010
Erteilung
3. März 2010
Rechtsraum
EP
IPC
B24D13/12B24D13/14B24B37/04// H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
innoPad, Inc.
Freudenberg Nonwovens Limited Partnership
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Vertreten von
Gudat, Axel Bergisch Gladbach, Deutschland
71
Patente gesamt
22
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Medizintechnik & Gesundheit Verpackungs- & Fördertechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Kunststoff- & Polymertechnik Elektrische Energietechnik
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