Ausrichtung und Übergabeeichung mit unterschiedlichen Lochschatten und Ionenimplantierer mit E-Halter und Greifer
EP1046881
Art B1
29. Oktober 2003
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1046881
- Aktenzeichen
- EP00303185
- Anmeldetag
- 14. April 2000
- Veröffentlichung
- 29. Oktober 2003
- Erteilung
- 29. Oktober 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/27B25J13/02H01J37/317H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
6.825 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Cross, Rupert Edward Blount
London, Großbritannien
2.091
Patente gesamt
33
Fachgebiete
17
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Schwerpunkte