Verfahren zur Reinigung von Öffnungen mit hohem Aspektverhältnis mittels reaktivem Plasmaätzen
EP1047123
Art A2
25. Oktober 2000
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1047123
- Aktenzeichen
- EP00107941
- Anmeldetag
- 14. April 2000
- Veröffentlichung
- 25. Oktober 2000
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3213C23C16/02H01J37/32
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
6.825 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Käck, Jürgen
Landsberg am Lech, Deutschland
814
Patente gesamt
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Fachgebiete
17
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Kahler, Kurt, Dipl.-Ing
NoneLandsberg am Lech