Excimer-Laservorrichtung

EP1047162 Art B1 17. September 2008

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1047162
Aktenzeichen
EP00108648
Anmeldetag
20. April 2000
Veröffentlichung
17. September 2008
Erteilung
17. September 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01S3/225H01S3/036
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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