Erhöhung der Hafttung von niederschgeschlagen Material auf freiligenden Oberflächen in einer Behandlungskammer
EP1049133
Art A3
16. Mai 2001
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1049133
- Aktenzeichen
- EP00109238
- Anmeldetag
- 28. April 2000
- Veröffentlichung
- 16. Mai 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32C23C14/56C23C16/44
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Zimmermann, Gerd Heinrich
München, Deutschland
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