Anordnung und Verfahren zur Herstellung eines eingelegten Kondensator in einem Halbleitersubstrat

EP1049146 Art A3 23. Januar 2002

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1049146
Aktenzeichen
EP00303573
Anmeldetag
27. April 2000
Veröffentlichung
23. Januar 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/306H01L21/02H01L21/00H01L21/334H01L21/321
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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