Verfahren zum chemisch-mechanisch Planarisieren

EP1052059 Art A3 24. Januar 2001

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1052059
Aktenzeichen
EP00303703
Anmeldetag
3. Mai 2000
Veröffentlichung
24. Januar 2001
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24B21/04B24B21/18// H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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