Projektions-Belichtungsanlage und Belichtungsverfahren der Mikrolithographie
EP1052545
Art A3
21. Januar 2004
Anmelder: Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss, Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1052545
- Aktenzeichen
- EP00106363
- Anmeldetag
- 24. März 2000
- Veröffentlichung
- 21. Januar 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss
Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss
Carl Zeiss ist ein deutscher Hersteller von optischen und optoelektronischen Systemen mit Sitz in Oberkochen. Das Patentportfolio konzentriert sich klar auf Optik und Fototechnik sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Medizintechnik und Software für bildgebende Anwendungen. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.
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Vertreten von
Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
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