Vorrichtung zum einseitigen Ätzen einer Halbleiterscheibe

EP1054436 Art A3 17. August 2005

Anmelder: Moritz, Hans 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1054436
Aktenzeichen
EP00105439
Anmeldetag
15. März 2000
Veröffentlichung
17. August 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00H01L21/68
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Moritz, Hans
Land
🇩🇪 Deutschland

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