Abrichtvorrichtung und Poliervorrichtung

EP1055486 Art B8 5. August 2009

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1055486
Aktenzeichen
EP00110521
Anmeldetag
17. Mai 2000
Veröffentlichung
5. August 2009
Erteilung
5. August 2009
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24B53/007H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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