Entladungsgepumpter Excimer-Laser

EP1056171 Art B2 18. Juni 2008

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1056171
Aktenzeichen
EP00111269
Anmeldetag
25. Mai 2000
Veröffentlichung
18. Juni 2008
Erteilung
18. Juni 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01S3/225H01S3/03
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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