Integrierender Wellenleiter zur Verwendung in einem lithographischen Projektionsapparat

EP1058156 Art A3 25. Juni 2003

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASM LITHOGRAPHY B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1058156
Aktenzeichen
EP00304664
Anmeldetag
1. Juni 2000
Veröffentlichung
25. Juni 2003
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASML Netherlands B.V.
ASM LITHOGRAPHY B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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