Verfahren und Vorrichtung zur Festlegung der Formeinkodierung einen Ladungsträgerstrahls in Lithographie Systemen
EP1060498
Art B1
16. November 2005
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC., Etec Systems, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1060498
- Aktenzeichen
- EP00901387
- Anmeldetag
- 4. Januar 2000
- Veröffentlichung
- 16. November 2005
- Erteilung
- 16. November 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/302H01J37/317
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
Etec Systems, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Bayliss, Geoffrey Cyril
London, Großbritannien
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