Hydrazinaddukt von Dialkylgalliumazid als molekulare Vorstufe für Gasphasenabscheidung von GaN
EP1061083
Art B1
2. April 2003
Anmelder: KOREA RESEARCH INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY, Korea Research Institute of Chemical Technology 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1061083
- Aktenzeichen
- EP00112587
- Anmeldetag
- 14. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 2. April 2003
- Erteilung
- 2. April 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07F5/00H01L21/205
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- KOREA RESEARCH INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY
Korea Research Institute of Chemical Technology - Land
- 🇰🇷 Südkorea
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Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Daejeon, tätig in der Entwicklung von Chemikalien, Materialien und Verfahrenstechnik.
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