Raster-Ladungsträgerstrahlgerät und Verfahren zur Beobachtung von Probenbildern mittels einem solchen Gerät

EP1061551 Art B1 17. November 2004

Anmelder: JEOL LTD., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1061551
Aktenzeichen
EP00305000
Anmeldetag
13. Juni 2000
Veröffentlichung
17. November 2004
Erteilung
17. November 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JEOL LTD.
Jeol Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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