Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer verbesserten Phosphosilikatglas-Schicht
EP1061567
Art A1
20. Dezember 2000
Anmelder: MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1061567
- Aktenzeichen
- EP00107496
- Anmeldetag
- 6. April 2000
- Veröffentlichung
- 20. Dezember 2000
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/316H01L21/3105
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Mitsubishi Electric
Japanisches Unternehmen, das Elektro- und Elektroniktechnik entwickelt und herstellt, darunter Automatisierung, Energie-, Klima- und Fahrzeugtechnik.
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Fachgebiete
Vertreten von
Prüfer, Lutz H
München, Deutschland
221
Patente gesamt
27
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Prüfer, Lutz H., Dipl.-Phys
NoneMünchen