Verfahren und Vorrichtung zum Messen eines Polierkissenprofils und Steuerung mit geschlossenem Regelkreis eines Polierkissen Aufbereitungsverfahren
EP1063056
Art A3
26. März 2003
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1063056
- Aktenzeichen
- EP00305242
- Anmeldetag
- 21. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 26. März 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B53/007B24B37/04B24B49/12// H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
6.825 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Bayliss, Geoffrey Cyril
London, Großbritannien
655
Patente gesamt
33
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