Verfahren und Vorrichtung zum Messen eines Polierkissenprofils und Steuerung mit geschlossenem Regelkreis eines Polierkissen Aufbereitungsverfahren

EP1063056 Art A3 26. März 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1063056
Aktenzeichen
EP00305242
Anmeldetag
21. Juni 2000
Veröffentlichung
26. März 2003
Rechtsraum
EP
IPC
B24B53/007B24B37/04B24B49/12// H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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